专利编号：
PMXL-168
专利证号：
专利名称：
一种在微尖锥顶端定位镀膜的方法
专利类别：
其它
专利持有人：
联系方式：
13353082008 联系人：李先生
浏览次数：
1516
状态：
还未卖出
专利介绍：
本发明公开了一种微尖锥定位镀膜的方法。所述的方法采用的工艺步骤如下：⑴锥尖暴露高度确定：在整个尖锥器件表面沉积覆盖层，采用薄膜削薄技术，减小表面覆盖层厚度，露出锥尖顶端，而锥体仍被覆盖；通过调节薄膜削薄参数，控制锥尖露出高度；⑵表面处理和钝化：根据实际需要，对露出锥尖进行表面净化处理和钝化保护。⑶薄膜沉积：根据实际需要，在锥尖顶端沉积上一层所需薄膜材料；⑷器件表面覆盖层剥离：采用选择性腐蚀方式，剥离器件表面覆盖层，形成锥尖定位镀膜器件。所述的微尖锥顶端定位镀膜的方法，可对尖锥进行锥尖定位净化和镀膜。